Positionneur multi-axes Nanoscopium
Pour miroirs de focalisation
- Cinématique adaptée à la minoration des mouvements parasites
- Supportage et refroidissement par eau des miroirs
- Grande rigidité et stabilité élevée
- Compatible avec l’Ultra Vide (UHV 10-10 mbar)
- 5 DDL : 3 rotations et 2 translations
- Course : ± 4mm
- Résolution : < 100nm