Positionneur multi-axes de miroirs de focalisation
Positionneur KB
Compact, grande rigidité et stabilité élevée
Compatible avec l’Ultra vide
2 systèmes de positionnements : un à 6 axes (3 translations, 2 rotations et 1 rotation manuelle) et le deuxième à 5 axes (2 translations, 1 rotation et 2 rotations manuelles)
Course : +/- 5mm
Résolution : 5µm
Précision : 10µm
Positionneur multi-axes Nanoscopium
Pour miroirs de focalisation
Cinématique adaptée à la minoration des mouvements parasites
Supportage et refroidissement par eau des miroirs
Grande rigidité et stabilité élevée
Compatible avec l’Ultra Vide (UHV 10-10 mbar)
5 DDL : 3 rotations et 2 translations
Course : ± 4mm
Résolution : < 100nm
Positionneur 3 axes
Positionneur 3 axes pour cibles
Assure mouvements de grande précision
Réglages suivant θX, θY et θZ
2 actionneurs d’orientation et 1 actionneur de rotation
Course ±5° (θX, θY et θZ)
Résolution : 50µrad
Précision : ±50µrad
Classe propreté (10, 100, 1000 ou 10 000) et Vide (10-6 mbar)