Micro-nano positionnement / Positionneurs multi-axes

Platine rotationnelle

Mouvements de rotation suivant 3 axes
  • Génère mouvement de rotation suivant 3 axes dans un encombrement réduit
  • Equipé d’un plateau rotulé actionné par 3 butées micrométriques
  • Butées équipées d’un renvoi d’angle à 90°
  • Sensibilité du déplacement en rotation de 1µrad
  • Course de +/- 1mm sur chaque axe de réglage
  • Disponible en version motorisée

Table de micro-positionnement XSZ

3 axes : Tx Ts Tz
  • Positionnement précis d'optiques ou de capteurs
  • Composé de 3 étages : 2 platines de translation (Tz et Tx) et 1 actionneur TMP (Ts)
  • Motorisation pas à pas hybride 2 phases : 200 pas/tour
  • Stabilité de position hors alimentation en énergie
  • Chaque étage est équipé d'un codeur linéaire incrémental
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: Table de micro-positionnement XSZ

Positionneur multi-axes AXOC

Positionneur multi-axes de miroirs de focalisation
  • Positionneur KB
  • Compact, grande rigidité et stabilité élevée
  • Compatible avec l’Ultra vide
  • 2 systèmes de positionnements : un à 6 axes (3 translations, 2 rotations et 1 rotation manuelle) et le deuxième à 5 axes (2 translations, 1 rotation et 2 rotations manuelles)
  • Course : +/- 5mm
  • Résolution : 5µm
  • Précision : 10µm
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: Positionneur multi-axes AXOC

Positionneur multi-axes Nanoscopium

Pour miroirs de focalisation
  • Cinématique adaptée à la minoration des mouvements parasites
  • Supportage et refroidissement par eau des miroirs
  • Grande rigidité et stabilité élevée
  • Compatible avec l’Ultra Vide (UHV 10-10 mbar)
  • 5 DDL : 3 rotations et 2 translations
  • Course : ± 4mm
  • Résolution : < 100nm

Positionneur 3 axes

Positionneur 3 axes pour cibles
  • Assure mouvements de grande précision
  • Réglages suivant θX, θY et θZ
  • 2 actionneurs d’orientation et 1 actionneur de rotation
  • Course ±5° (θX, θY et θZ)
  • Résolution : 50µrad
  • Précision : ±50µrad
  • Classe propreté (10, 100, 1000 ou 10 000) et Vide (10-6 mbar)
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: Positionneur 3 axes

Inserteur

Insérer, positionner et orienter un objet dans une enceinte à vide
  • Equipé d’un positionneur à 6 degrés de liberté de grande précision
  • Masse maximale de l’objet à insérer : 2.5 Kg
  • Fonctionnement sous vide
  • Durcissement aux champs électromagnétique et compatible nucléaire
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: Inserteur

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