Positionneur 3 axes
Positionneur 3 axes pour cibles
- Assure mouvements de grande précision
- Réglages suivant θX, θY et θZ
- 2 actionneurs d’orientation et 1 actionneur de rotation
- Course ±5° (θX, θY et θZ)
- Résolution : 50µrad
- Précision : ±50µrad
- Classe propreté (10, 100, 1000 ou 10 000) et Vide (10-6 mbar)
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: Positionneur 3 axes