Enceinte à vide porte cible
Enceinte soudée
- Dimension enceinte : 8600 x 1600 x 3200 mm
- Volume : 6m3
- Pression interne : 1.10-6 mbar
- Taux de fuite : < 6.10-7 mbar.l/s
- Fabrication & contrôles selon CODAP V2000 cat B
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: Enceinte à vide porte cible