Courbeur de miroir avec positionneur
Système de miroir de focalisation de rayons X
- Equipé de 2 actionneurs générateurs de courbure de type AME et de 2 positionneurs
- Produit compatible environnement classe de propreté ISO6
- Translation TX : Course +/- 10mm, Résolution 1µm
- Rotation θY : Course +/- 30mrad, Résolution 5µrad
- Actionneur pousseur : Plage d’effort 0 à 40N, Résolution 5mN
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: Courbeur de miroir avec positionneur