NLS II : XY
Table de Positionnement nanométrique
- Motorisation: moteur électromagnétique sans fer
- Pilotage en boucle ouverte ou fermée
- Compatible avec application sous-vide et ultra-vide (10-9mbar)
- Résolution nanométrique
- Rectitude : 1µrad/ ±30 nm (course de 5 nm)
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: NLS II : XY