• Equipé de 2 actionneurs générateurs de courbure de type AME et de 2 positionneurs
• Produit compatible environnement classe de propreté ISO6
• Translation TX : Course +/- 10mm, Résolution 1µm
• Rotation θY : Course +/- 30mrad, Résolution 5µrad
• Actionneur pousseur : Plage d’effort 0 à 40N, Résolution 5mN

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