Structures de précision / Enceintes soudées

Enceinte à vide porte cible

Enceinte soudée

Dimension enceinte : 8600 x 1600 x 3200 mm
Volume : 6m3
Pression interne : 1.10-6 mbar
Taux de fuite : < 6.10-7 mbar.l/s
Fabrication & contrôles selon CODAP V2000 cat B

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: Enceinte à vide porte cible

Enceinte à vide

Du positionneur multi-axes Nanocopium

2 enceintes à vide
Dimension interne : 350 x 600 x 370mm & 450 x 950 x 490mm
Equipés de 2 positionneurs de grande précision à l’intérieur
Positionneurs dissociés de l’enceinte pour découpler les vibrations et dilatations thermiques